ФСМ 1201П

ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.

ИК фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами ASTM F1188 и F1391, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, ASTM F95, определяющим метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа n n⁺ или p p⁺ и др. Возможно определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.

Прибор зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений No18895-99.

ОСНОВНЫЕ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ ПАРАМЕТРЫ

• концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0.4...2 мм) в пределах: (5*10¹⁵...2*10¹⁸) ± 5*10¹⁵ см³;
• концентрация углерода замещения (толщина пластин 0.4...2 мм) в пределах: (10¹⁶...5*10¹⁷) ± 10*¹⁶ см³;
• толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n⁺ и p-p⁺ в пределах: (0.5-10) ±0.1 мкм, (10-200) ±1% мкм;
• концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах: (1...10) ±0.2 вес.%.

ДОСТОИНСТВА МЕТОДА ФУРЬЕ-СПЕКТРОСКОПИИ

Высокая чувствительность.

Рекордное в сравнении с обычными ИК спектрометрами отношение сигнал/шум позволяет на порядок снизить порог обнаружения контролируемых примесей и повысить точность определения концентрации.

Высокая производительность.

Время получения спектра при разрешениях и фотометрической точности, соответствующих требованиям стандартов, не превышает 15...20 с. Это делает возможным сплошной контроль пластин и структур в процессе производства, а также позволяет исследовать неоднородность пластин измеряя распределения контролируемого параметра.

Достоверность анализа.

Анализ и идентификация спектров осуществляются автоматически с использованием библиотек стандартных спектров, включаемых в базу данных спектрометра. Снижается вероятность субъективных ошибок оператора.

Бесконтактность измерений.

В процессе измерений отсутствуют механические воздействия на поверхность пластины.

Автоматизация измерений.

Процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины полностью автоматизированы. Маршрут перемещения выбирается из стандартных конфигураций (1, 5 и 9 точек) или задается оператором. Результаты измерений автоматически протоколируются и заносятся в базу данных.

ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СПЕКТРОМЕТРА

Выполняется разработка методик и программного обеспечения, по техническому заданию Заказчика.